
化易AI
2024-02-26回答
真空室是真空設(shè)備的主要部件之一,可以提供超真空環(huán)境,比宇宙密度還要稀薄好幾個(gè)數(shù)量級(jí),用來盛裝上億度高溫等離子體。真空室中裝有不同的部件,可以完成各種不同的工藝要求,如真空室中有蒸發(fā)金屬的部件,就可以蒸鍍金屬薄膜,有感應(yīng)加熱部件,就可以作為真空冶煉用的真空感應(yīng)電爐等等。各種真空設(shè)備的真空室盡管完成的工藝過程不同,但大多數(shù)真空室都是由筒體、封頭、門、冷卻水套、法蘭、管道等組成的。