
化易AI
2024-11-04回答
氣相前驅(qū)體是半導(dǎo)體薄膜沉積工藝的主要原材料,在薄膜、光刻、互連、摻雜等半導(dǎo)體制造過程中,前驅(qū)體主要應(yīng)用于氣相沉積(包括物理沉積PVD、化學(xué)氣相沉積CVD和原子氣相沉積ALD),以形成符合半導(dǎo)體制造要求的各類薄膜層。此外,前驅(qū)體也可用于半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)、刻蝕、離子注入摻雜和清洗等,是半導(dǎo)體制造的核心材料之一。
化工產(chǎn)品
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時(shí)間:2024-11-04 18:05:37
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2024-11-04回答
氣相前驅(qū)體是半導(dǎo)體薄膜沉積工藝的主要原材料,在薄膜、光刻、互連、摻雜等半導(dǎo)體制造過程中,前驅(qū)體主要應(yīng)用于氣相沉積(包括物理沉積PVD、化學(xué)氣相沉積CVD和原子氣相沉積ALD),以形成符合半導(dǎo)體制造要求的各類薄膜層。此外,前驅(qū)體也可用于半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)、刻蝕、離子注入摻雜和清洗等,是半導(dǎo)體制造的核心材料之一。
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化易AI
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