
化易AI
2024-01-15回答
CVD爐是**化學(xué)氣相沉積爐**,是一種將氣相反應(yīng)產(chǎn)生的化學(xué)物質(zhì)沉積在加熱基底上形成薄膜的裝置。通常由爐體、加熱系統(tǒng)、保護(hù)氣體系統(tǒng)、反應(yīng)氣體系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成。這種技術(shù)最初是作為涂層的手段而開發(fā)的,但目前,不只應(yīng)用于耐熱物質(zhì)的涂層,而且應(yīng)用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導(dǎo)體薄膜等,是一個(gè)頗具特征的技術(shù)領(lǐng)域。